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SEMISTAR-MR124

適用于晶元搬運SEMISTAR-M系列升級版,引領業界的高性能!供應EFEM模塊全套設備。300枚/小時的高速搬運。

半導體晶片搬運用機器人
負載:-
動態范圍:1215mm
控制柜:SR100
用途:搬運、半導體

  • 特點
  • 外形尺寸
  • 支持
  • 相關產品

大動作范圍:EFEM模塊移動距離可達4套應用設備,無需使用底架,極大地提高了搬運效率。
高速搬運:300枚/小時
適用:300mm-450mm晶片搬運


項目 規格
機械臂 適用晶體尺寸 300mm(450m)*1
晶體把持方式 真空吸附夾具或邊緣夾具
標準邊緣效應器長*2 對應345mm@300mm的晶體
驅動軸數 5軸
手臂類型 單臂
動作范圍 R軸伸縮*3 1215mm
θ軸回旋 330°
Z軸升降 480mm
B軸回轉 440°
最小回轉半徑*2 510mm
最快速度*2 伸縮 260°/s
回旋 330°/s
升降 550mm/s
B軸回轉 350°/s
線性 2000mm/s
重復定位精度*2 0.1mm(P-P)
質量 66kg
位置調整器 適用晶體尺寸 300mm
晶體把持方式 真空吸附夾具
檢出對象 凹槽
晶體材質 珪素*4
晶體邊緣檢出傳感器 LED + CCD線性傳感器
動作范圍 回旋 無限制
最快速度(加速/減速時間) 回旋 1000°/s(0.1s/0.1s)
LINEMENT精度 ±0.03°
LINEMENT時間 1.7秒以下
質量 5.8kg
設置環境 潔凈等級*5 ISO等級1
使用溫度·濕度 20~30℃,35~55%RH(不結露)
保管溫度·濕度 0~40℃,35~80%RH(不結露)
標高 表高1000m以下
環境 無爆炸性,腐蝕性,可燃性氣體
MCBF 1500次循環以上

*1:本公司標準終端效應器(300mm:邊緣把持/真空吸著,450mm:真空吸)
*2:300mm晶體(SEMI規格標準品),當使用本公司標準300mm對應終端校準器時
*3:機械臂回旋中心位置~晶體中心位置(本公司標準300mm對應終端效應器時)
*4:根據SEMI規格為基準的晶體規格。特殊石英晶體請與我司聯系。石英晶體也可對應(有業績)。但是根據石英規格,本公司需要進行評價和調整。
*5:在0.3m/s的流量下,機械臂進行真空吸附

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