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MFS2200D

實現潔凈室內多層第6代超大型液晶玻璃基板箱體內的高速搬運!

大型液晶玻璃基板搬運機器人
負載:50KG
動態范圍:1780mm
控制柜:DX100
用途:搬運、潔凈室

  • 特點
  • 外形尺寸
  • 支持
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適用于第6代(1500*1850mm)超大型液晶玻璃基板的高速搬運。
高速、穩定搬運,提高生產效率。
高度柔性動作,大幅度削減配套設備費用。
長期保持高潔凈度,降低運營成本。
大幅縮短生產線建立時間。


項目 規格
名稱 MOTOMAN-MFS2200D-3600
機型 YR-MFS050D-A00
構造 水平多關節形(6個自由度)
負載 50kg/手臂
重復定位精度*1 ±0.2mm
動作范圍 U軸(上下軸) 3600mm
S軸(回轉軸) -180.5°~+180.5°
L,R軸(前后軸) -1780mm~+1780mm
左右運作 -50mm~+50mm
扭動運作 -6°~+6°(上下軸100~1750mm范圍)
-0.5°~+0.5°(以上范圍以外)
最大速度 U軸(上下軸) 950mm/s
S軸(回轉軸) 1.57rad/s,90°/s
L,R軸(前后軸) 最大3600mm/s
容許力矩 L,R軸(前后軸) 353N·m
容許慣性力矩(CD2/4) L,R軸(前后軸) 71kg·m2
標準噴涂色 孟塞爾munsell N9.5
本體質量 2430kg
潔凈度*2 ISO4
安置環境 溫度 15~25°C
濕度 20~80%RH(不結露)
振動 4.9m/s2以下
其他 ·環境沒有引火性及腐蝕性氣體,液體
·遠離水
·遠離電子噪音源
·安裝機器人水平面水平度在0.5mm以下
電源容量*3 12.0kVA

*1:依據JIS B8432標準
*2:潔凈度依據ISO-14644標準。在0.4m/s以上的向下流風速環境下,來確保工件搬運面以上潔凈度。
*3:根據用途、作業形式會有所不同。

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